- Reinraum für Mikrotechnik
- Komplette UV-LIGA Prozesskette auf Basis von SU-8 und NXT-125
- Plasmaätzanlage für SU-8 (R3T STP 2020)
- Drahtbonder (Gold und Aluminium) mit automatisierter z- und x-Achse
(Devoltec 53xx BDA)
- Nickel- und Kupfermikrogalvanik
- Präzisionsläpp- und Poliermaschine (Logitech)
- Sputter- und Aufdampfanlage
- Oberflächenprofilometer und Digitalmikroskop zur Vermessung von Strukturen
- Motion Analyzer zur Charakterisierung von Mikrosystemen
- Labor für Elektroaktive Polymere (EAP)
- Automatische Fertigungsanlage für dielektrische Polymeraktoren (DEA) im Mehrschichtprinzip
- Messplatz zur statischen und dynamischen Charakterisierung von DEA
- Lebensdauermessplatz für DEA (gleichzeitige Vermessung von 16 Aktoren)
- Aufbaulabor für Mikrosysteme
- Mikromontageplatz mit Vakuumgreifer, Zweibackengreifer, Heiztisch, Dispenser und Präzisionsmesspitzen (Arteos TOMM-1)
- Hochtemperaturofen unter Vakuum oder Schutzgas (Nabertherm P330)*
- Pull-Shear-Tester
- Verschiedene UV-Lichtquellen und -öfen zur Aushärtung von mehrkomponentigen Materialsystemen
- Präzisionslabore zur Sensor- und Systemcharakterisierung
- Schwingungsgedämpfter Messplatz zur Charakterisierung von Piezoaktoren inkl. Hochspannungsverstärkern und Differential-Vibrometer (Polytec)*
- Drei- und Vierpunktmessplatz zur Charakterisierung von Dehnungssensoren
- Mehrkanalmessverstärker zur Auswertung von Sensornetzen (Kistler SCP)
- Druckwaage mit Nennbereichen bis 5000 bar
- Dynamischer Druckmessplatz zur Erfassung dynamischer Eigenschaften von Drucksensoren
- Klimakammern zur Charakterisierung des Langzeitverhaltens von Sensorelementen
- Impedanzmessplatz für Weichgewebe (mit optionaler Perfusionsmöglichkeit) und viskoelastische Materialien
- Feinmechanische Fertigung
- Feinwerktechnische Werkstatt
- Laser zur Herstellung von Funktionsteilen aus Blech und rotationsymmetrischen Teilen (Alpha Laser AC 200)*
- CNC-gesteuerte Fräs- und Drehmaschinen
- 3D Mikro-Fräse
- Spezialwerkzeuge für die Edelstahlbearbeitung
- Impuls- und Punktschweißanlagen
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Motion Analyzer
Lebensdauermessplatz für DEA
Mikromontageplatz TOMM-1
Dynamische Druckquelle
Bearbeitungslaser AC 200
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