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Elektro- Mechanische Systeme

  • Reinraum für Mikrotechnik
    • Komplette UV-LIGA Prozesskette auf Basis von SU-8 und NXT-125
    • Plasmaätzanlage für SU-8 (R3T STP 2020)
    • Drahtbonder (Gold und Aluminium) mit automatisierter z- und x-Achse
      (Devoltec 53xx BDA)
    • Nickel- und Kupfermikrogalvanik
    • Präzisionsläpp- und Poliermaschine (Logitech)
    • Sputter- und Aufdampfanlage
    • Oberflächenprofilometer und Digitalmikroskop zur Vermessung von Strukturen
    • Motion Analyzer zur Charakterisierung von Mikrosystemen
  • Labor für Elektroaktive Polymere (EAP)
    • Automatische Fertigungsanlage für dielektrische Polymeraktoren (DEA) im Mehrschichtprinzip
    • Messplatz zur statischen und dynamischen Charakterisierung von DEA
    • Lebensdauermessplatz für DEA (gleichzeitige Vermessung von 16 Aktoren)
  • Aufbaulabor für Mikrosysteme
    • Mikromontageplatz mit Vakuumgreifer, Zweibackengreifer, Heiztisch, Dispenser und Präzisionsmesspitzen (Arteos TOMM-1)
    • Hochtemperaturofen unter Vakuum oder Schutzgas (Nabertherm P330)*
    • Pull-Shear-Tester
    • Verschiedene UV-Lichtquellen und -öfen zur Aushärtung von mehrkomponentigen Materialsystemen
  • Präzisionslabore zur Sensor- und Systemcharakterisierung
    • Schwingungsgedämpfter Messplatz zur Charakterisierung von Piezoaktoren inkl. Hochspannungsverstärkern und Differential-Vibrometer (Polytec)*
    • Drei- und Vierpunktmessplatz zur Charakterisierung von Dehnungssensoren
    • Mehrkanalmessverstärker zur Auswertung von Sensornetzen (Kistler SCP)
    • Druckwaage mit Nennbereichen bis 5000 bar
    • Dynamischer Druckmessplatz zur Erfassung dynamischer Eigenschaften von Drucksensoren
    • Klimakammern zur Charakterisierung des Langzeitverhaltens von Sensorelementen
    • Impedanzmessplatz für Weichgewebe (mit optionaler Perfusionsmöglichkeit) und viskoelastische Materialien
  • Feinmechanische Fertigung
    • Feinwerktechnische Werkstatt
    • Laser zur Herstellung von Funktionsteilen aus Blech und rotationsymmetrischen Teilen (Alpha Laser AC 200)*
    • CNC-gesteuerte Fräs- und Drehmaschinen
    • 3D Mikro-Fräse
    • Spezialwerkzeuge für die Edelstahlbearbeitung
    • Impuls- und Punktschweißanlagen

 

Motion Analyzer

Lebensdauermessplatz für DEA


Mikromontageplatz TOMM-1

Dynamische Druckquelle

Bearbeitungslaser AC 200

 



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